반도체 장비 Turn On 절차 가이드

• 🔌 반도체 장비 Turn On 절차
• 📋 신규 설치 및 초도 가동 안내
• ⚙️ 단계별 턴온 체크리스트
• ✅ 안전한 시운전 준비

이 슬라이드는 '프레젠테이션 개요'로, Turn On 절차에 대한 5가지 주요 항목을 나열한다. 1) Turn On 개요, 2) 준비물 및 현장 확인, 3) 사전 점검 및 턴온 절차, 4) 사진 체크리스트, 5) 핵심 포인트를 다루며, 설치, 안전 점검, 기록 관리 등을 강조한다.

프레젠테이션 개요

1. 1. Turn On 개요

신규 장비 설치 및 초도 가동 절차 설명

2. 2. 준비물 및 현장 확인

사무실/Shop장 준비물과 장비 현장 확인 사항

3. 3. 사전 점검 및 턴온 절차

안전 점검부터 턴온 절차 및 특이사항 대응

4. 4. 사진 체크리스트

Pump S/N, EMO 등 필수 사진 촬영 항목

5. 5. 핵심 포인트

안전, 기록 관리와 실시간 진행 파악 강조 Source: 반도체 장비 Turn On 절차 매뉴얼

This slide provides an overview of the "Turn On" process, which involves installing new equipment and performing initial operation procedures. It notes that operations register schedules in FDC before proceeding, with alternative terms being "Setup" or "시운전".

1. Turn On 개요

• 신규 장비 설치 및 초도 가동 절차 수행
• 현업이 FDC에 일정 등록 후 진행
• 다른 표현: Setup 또는 시운전

Source: 반도체 장비 Turn On 절차 매뉴얼

이 슬라이드는 사무실 준비물과 Shop장 준비물을 나란히 제시한다. 사무실에서는 Turn On PM Sheet, 명패 등 필수품을 미리 준비해 현장으로 이동하며, Shop장에서는 He Detector와 안전 장비 등을 안전과 효율성을 위해 필수로 준비한다.

2. 준비물

Source: 반도체 장비 Turn On (턴온) 절차 매뉴얼

이 슬라이드는 현장으로 이동하여 신규 장비 위치를 확인하는 단계를 설명한다. 명패가 없는 경우 Foreline 배관 및 PCW Line을 점검하고, 주변 인원에게 장비 위치를 문의하여 확인한다.

3. 현장 이동 및 장비 확인

• 현장으로 이동하여 신규 장비 위치 확인
• 명패 없음: Foreline 배관 및 PCW Line 점검
• 주변 인원에게 장비 위치 문의 및 확인

Source: 반도체 장비 Turn On 절차 매뉴얼

이 슬라이드는 Turn On 작업 전 사전 점검 및 절차를 단계별로 설명한다. 사전 점검(안전펜스 설치, He Detector 연결 등), CMS 입력, TBM 후 Pump On, Leak & Signal Check, 완료 기록까지의 워크플로우를 제시하며 각 단계의 세부 사항과 확인 사항을 포함한다.

4. Turn On 전 사전 점검 & 절차

Source: 반도체 장비 Turn On 매뉴얼

이 슬라이드는 "사진 촬영 체크리스트"로, 펌프 및 액세서리 직렬번호, 비상정지 버튼, 레벨러, 베이스, 누출 검사, 스니퍼 검사, 배전반 상태, 레귤레이터 스티커 등의 항목을 촬영해야 할 세부 사항으로 나열한 테이블이다. 각 항목에 대한 비고는 비어 있으며, 설치 또는 점검 시 사진 촬영을 위한 가이드라인을 제공한다.

6. 사진 촬영 체크리스트

Source: 반도체 장비 Turn On 절차 매뉴얼

Turn On은 설치와 가동 준비의 핵심 단계이며, 안전 및 기록 관리를 철저히 하고 모든 진행 상황을 실시간으로 파악해야 합니다. 특이사항 발생 시 해결 후 재진행하거나 CMS에 재등록하며, 안전을 최우선으로 완벽 실행하고 매뉴얼을 준수해 Turn On을 성공적으로 마무리하십시오.

7. 핵심 포인트

<ul> <li><strong>Turn On은 설치 + 가동 준비의 핵심 단계</strong></li> <li><strong>안전 및 기록 관리 철저</strong></li> <li><strong>모든 진행상황 실시간 파악</strong></li> <li>특이사항 시 해결 후 재진행 또는 CMS 재등록</li> </ul>

<strong>마무리: 안전 최우선, 완벽 실행</strong>

<strong>행동: 매뉴얼 준수로 Turn On 성공!</strong>

Source: 반도체 장비 Turn On 절차 매뉴얼